Шитов М. ПОВЫШЕНИЕ ГИБКОСТИ В ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ СИСТЕМЕ МНЛЗ – ШСГП . ESU [Интернет]. 24 январь 2022 г. [цитируется по 12 декабрь 2024 г.];:54-7. доступно на: https://fizmat-tech.euroasia-science.ru/index.php/Euroasia/article/view/790